振動敏感設備的(de)通用振動标準在(zài)設計用于(yú)研究、微電子(zǐ)制造和(hé / huò)類似活動的(de)設施時(shí)，通常需要(yào / yāo)具有通用的(de)振動标準（即适用于(yú)設備類别和(hé / huò)活動），而(ér)不(bù)是(shì)特定于(yú)設備的(de)特定項目。本文描述了(le／liǎo)基于(yú)三分之(zhī)一(yī / yì ／yí)倍頻程振動速度譜的(de)一(yī / yì ／yí)組标準的(de)推導和(hé / huò)使用。本文還讨論了(le／liǎo)制定設備振動靈敏度測量方法和(hé / huò)标準的(de)必要(yào / yāo)性。呼籲設備制造商和(hé / huò)用戶分别制定和(hé / huò)要(yào / yāo)求真實準确的(de)規範。随着高科技界進入“納米時(shí)代”，這(zhè)一(yī / yì ／yí)點尤爲(wéi / wèi)重要(yào / yāo)；

對放置精密加工設備，精密如激光設備，激光導程測量儀，三坐标設備，半導體設備，光刻機等設備平台或地(dì / de)面，需要(yào / yāo)進行微振動檢測，我們将出(chū)具VC-A,VC-B,···等級及波形數據報告；

對機加工，磨床，CNC機床地(dì / de)面也(yě)有着隔振設計規範，需要(yào / yāo)對防止這(zhè)些設備的(de)地(dì / de)面或平台進行振動測試，根據加工精度，對應不(bù)同标準進行判定，判斷當前振動是(shì)否超标。

無錫某韓國(guó)企業，半導體行業光刻機，蝕刻機等精密設備，對設備平台單獨進行隔振設計，平台搭建完成後，對隔振平台進行微振動測試，判斷是(shì)否符合微振動标準。

國(guó)内知名大(dà)學半導體設備研究院，房間周圍有空調設備運行，需要(yào / yāo)對半導體設備進行微振動測試，看空調運行對平台振動的(de)影響大(dà)小，振動是(shì)否符合地(dì / de)面微振動标準。